真空化学气相沉积炉为立式和卧式结构，由炉体；石墨加热器；真空系统；供气系统；气体流量控制装置；可控硅调压电源；自动控制系统；自动记录装置；工作平台；粉尘过滤系统；水冷系统等组成。
化学气相沉积炉系列—电阻加热方式主要技术参数
真空感应化学气相沉积炉分为立式和卧式结构，由炉体；液压升降进出料系统；感应加热器；真空系统；供气系统；气体控制装置；尾气净化系统；中频可控硅电源；自动控制系统；自动记录装置；工作平台；粉尘过滤系统；水冷系统等组成。
化学气相沉积炉系列—感应加热方式主要技术参数
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真空化学气相沉积炉为立式和卧式结构，由炉体；石墨加热器；真空系统；供气系统；气体流量控制装置；可控硅调压电源；自动控制系统；自动记录装置；工作平台；粉尘过滤系统；水冷系统等组成。
真空化学气相沉积炉为立式和卧式结构，由炉体；石墨加热器；真空系统；供气系统；气体流量控制装置；可控硅调压电源；自动控制系统；自动记录装置；工作平台；粉尘过滤系统；水冷系统等组成。
化学气相沉积炉系列—电阻加热方式主要技术参数
真空感应化学气相沉积炉分为立式和卧式结构，由炉体；液压升降进出料系统；感应加热器；真空系统；供气系统；气体控制装置；尾气净化系统；中频可控硅电源；自动控制系统；自动记录装置；工作平台；粉尘过滤系统；水冷系统等组成。
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